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中圖儀器SuperViewW白光干涉超精密工件表面3D形貌儀基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。它具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精細器件的過程用時短，確保了高款率檢測。

NS200印刷電路板臺階高度測量儀具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率，同時，其集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術(shù)，使得儀器具備超高的測量精度和測量重復(fù)性。

VT6000三維光學輪廓共聚焦材料顯微鏡用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量。測量表面物理形貌，進行微納米尺度的三維形貌分析，如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓（縱深、寬度、曲率、角度）、表面粗糙度等。

NS系列國產(chǎn)薄膜臺階測量儀采用了線性可變差動電容傳感器LVDC，具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率，同時，其集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術(shù)，使得儀器具備超高的測量精度和測量重復(fù)性。

SuperViewW白光干涉微觀形貌及粗糙度儀測量單個精細器件的過程用時短，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

NS系列薄膜臺階測量儀利用光學干涉原理，通過測量膜層表面的臺階高度來計算出膜層的厚度，此外還可以用于表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量，具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點。